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石英/PFA加热器

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特  点:

1、冷热部的换热接液材选用高纯度的碳素材,无金属离子析出。

2、采用无O型圈的特殊密封结构,可对应酸,碱化学药液以及有机药液。

3、装置内置各种安全对策如漏液,空烧,温度导常等各种报警提示功能。

主要用途:

1、半导体制造过程中使用的化学药液的温度管理如RCA清洗液,蚀刻液,冲洗光刻的显影液。

2、其他领域的各种化学药液的温度管理如各种表面电渡处理液,以及其他液。

产  品: 

AIH系列(石英)、CHE系列(PFA


 

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