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高纯气体加热器


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特点:

加热效率高,升降温速度快,体型小易安装,采用特殊结构设计外表面温度低,无需隔热材。

主要用途:

?适用于半导体晶圆清洗后的晶圆干燥。

?排吸气系统中的气源的加热

?空气,氮气及氩气等惰性气体的高温加热。

主要产品:

可分为二大类 CLM系列 (小流量)、CLH系列(大流量)


 

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